5개 계열 41종 공정용 케미컬 라인업

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식각액 (Etchant)

인산·질산·초산 혼산 계열과 불산 대체 계열을 함께 운용합니다. 고객 막 구조 기준으로 식각률과 선택비를 재설계하며, 배치별 식각률 실측 곡선을 시험성적서와 함께 제공합니다.

제품 코드: LX-ET 100 / 220 / 340
금속 불순물: Na·K·Fe·Cu 각 10 ppb 이하
공급 단위: 20L / 200L / 1,000L / 벌크

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박리액 (Stripper)

유기 아민과 극성 용매를 조합한 감광막 박리액입니다. 하부 배선 손상 없이 잔사를 제거하며, 저온 배합 적용 시 공정 온도와 에너지 사용량을 함께 낮출 수 있습니다.

제품 코드: LX-ST 410 / 480
사용 온도: 45 – 60℃
공급 단위: 20L 캔 / 200L 드럼

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세정액 (Cleaner)

파티클과 금속 이온을 동시에 제거하는 전공정용 세정액입니다. 초순수 라인과 직결해 희석 오차 없이 공급하며, 사용 후 폐액은 회수·재생 서비스로 처리합니다.

제품 코드: LX-CL 620 / 660
입자 관리: 0.2㎛ 이상 5 EA/mL 이하
공급 단위: 1,000L IBC / 벌크 로리

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현상액 (Developer)

TMAH 계열 현상액입니다. 표준 농도 2.38 wt% 외에 라인 조건에 맞춘 농도 커스터마이징을 지원하며, 농도 자동 보정 장치와 함께 공급합니다.

제품 코드: LX-DV 210 / 238
농도 관리: ± 0.01 wt%
공급 단위: 벌크 로리 / 배관 직결

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전구체 (Precursor)

고유전율 박막 증착용 금속 전구체를 파일럿 규모로 생산합니다. 수분과 산소에 민감한 물질이므로 합성부터 충전까지 전 공정을 불활성 분위기에서 처리합니다.

제품 코드: LX-PR 시리즈 (파일럿)
취급 조건: N₂ 퍼지 · 이중 밀봉
공급 단위: 전용 실린더 / 앰플

41종의 공정용 케미컬을 제조·공급합니다

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디스플레이

OLED·LCD 패널의 TFT 배선 형성 공정에 식각액과 박리액을 공급합니다. 대면적 기판일수록 커지는 식각 균일도 편차를 배합과 온도 관리로 보완합니다.

주요 제품: LX-ET 220 · LX-ST 410
대응 라인: G6 – G10.5

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반도체 전공정

메모리 및 시스템 반도체의 세정·현상 공정에 고순도 용액을 납품합니다. 규격을 벗어난 배치는 출하하지 않는 것을 원칙으로 운영합니다.

주요 제품: LX-CL 660 · LX-DV 238
품질 기준: SEMI C 등급 기준 충족

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패키징 (후공정)

범프 및 재배선층 형성에 필요한 도금 전처리·표면 처리 케미컬을 소량 다품종으로 공급합니다. 주문량이 적어도 전용 배치로 대응합니다.

주요 제품: LX-CL 620 · 맞춤 배합
최소 주문: 200L 이상

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이차전지

전극 집전체 표면 처리제와 전해액 첨가제 원료를 공급합니다. 수분 함량이 성능에 직접 영향을 미치므로 전 공정을 건조 분위기에서 취급합니다.

주요 제품: LX-CL 시리즈 · 첨가제 원료
수분 관리: 20 ppm 이하

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고객 라인 공급 연계

고객 라인의 사용량 데이터를 연계해 재고와 배송 계획을 자동 산출합니다. 탱크 잔량이 기준선에 도달하기 전에 다음 출하를 진행합니다.

연계 방식: API · 탱크 레벨 센서
보충 리드타임: 24시간 이내

공급 프로세스

원료 입고부터 고객 탱크 충전까지 전 구간을 직접 관리합니다. 중간 유통 단계를 두지 않아 취급 중 오염 위험을 줄입니다.

원료 입고 · 성분 검사 입고 로트별로 금속 불순물과 수분을 측정하며, 기준 미달 원료는 하역하지 않습니다. 아산 · 구미 생산 라인

합성 · 반응 정제 · 여과 농도 조정

품질 판정 (41개 항목)

벌크 로리 직송 IBC · 드럼 출하 라인 직결 배관

고객 공정 라인 사용 폐액 회수 재생 후 재공급

폐액 회수 및 재생

고객 라인에서 배출된 폐액을 회수해 정제 후 재공급하는 순환 라인을 운영합니다. 2022년 도입 이후 신규 원료 사용량을 18% 절감했으며, 처리 과정에서 발생하는 폐수는 자체 수처리 설비를 거쳐 법정 배출 기준의 50% 이하로 방류합니다.

환경경영 체계 회수 서비스 문의

출하 전 41개 항목 검사

금속 불순물, 액중 입자 수, 농도, 밀도, 수분, 색도 등 제품별 검사 항목을 모두 통과해야 출하 승인이 이루어집니다.

측정값은 배치 번호와 함께 보관되므로, 납품 이후 문제가 제기되더라도 해당 배치의 검사 데이터를 즉시 확인할 수 있습니다.

ICP-MS금속 불순물 ppt 단위 정량 분석
LPC액중 입자 수 실시간 계수
기록 보관배치별 검사 성적 10년 보관

공정 조건을 알려주시면 배합을 제안드립니다

기술영업팀이 3영업일 이내 회신하며, 필요 시 고객사 라인 방문 일정을 협의합니다.

기술 문의