반도체·디스플레이 공정용 고순도 케미컬

주식회사 룩시아머티리얼즈는 식각액·박리액·세정액·현상액 등 반도체 및 디스플레이 제조 공정용 고순도 케미컬을 개발·생산·공급합니다. 아산·구미 2개 생산 거점에서 연간 86,000톤을 공급합니다.

회사소개

당사는 아산·구미 2개 공장에서 식각액, 박리액, 세정액, 현상액, 전구체 등 5개 계열 41종의 공정용 케미컬을 생산합니다. 원료 정제부터 금속 불순물 분석까지 전 공정을 자체 설비로 처리합니다.

ISO 9001·14001·45001 인증 체계를 기반으로 배치별 시험성적서를 발행하며, 24시간 자동화 라인과 이원화 분석실을 통해 공급 안정성을 확보합니다.

생산 공장 외벽 구조물

주요 공급 대상

Display

OLED·LCD 패널 제조사의 TFT 배선 식각 및 감광막 박리 공정에 케미컬을 공급합니다.

Semiconductor

메모리·시스템 반도체 전공정의 세정 및 현상 라인에 고순도 용액을 정기 납품합니다.

Packaging

후공정 패키징의 도금 전처리 및 표면 처리 공정용 소량 다품종 배합을 공급합니다.

Trading

해외 소재 상사와 협력해 아시아 지역 고객사의 물류 및 안전 재고를 운영합니다.

기술 문의

합성부터 출하까지 전 공정을 자체 설비로 운영합니다

BUILD 000 / 100

01 원료 입고 · 저장
  • 저장 탱크

    12기

  • 보관 용량

    4,200 t

입고 로트별로 금속 불순물과 수분을 측정한 뒤, 등급이 확인된 원료만 전용 탱크에 이송합니다. 탱크는 품목별로 분리 운영하며 질소 봉입 상태를 상시 감시합니다.

제품 라인업 보기
02 합성 · 반응
  • 반응기 용량

    120 m³

  • 배치 처리량

    18 t

혼산 배합과 유기 합성을 각각 전용 반응 라인에서 처리합니다. 온도와 체류 시간은 배치 레시피에 따라 자동 제어되며 전 구간 이력이 기록됩니다.

공정별 제품 보기
03 정제 · 분석
  • 여과 정밀도

    0.05 ㎛

  • 검사 항목

    41종

다단 여과와 증류를 거쳐 목표 순도에 도달하면 ICP-MS로 금속 불순물을, LPC로 액중 입자 수를 측정합니다. 판정 기준을 통과한 배치만 다음 공정으로 이송됩니다.

품질 기준 보기
04 충전 · 출하
  • 출하 리드타임

    24시간

  • 공급 단위

    4종

벌크 로리, IBC, 드럼, 라인 직결 배관 중 고객 라인 조건에 맞는 방식으로 충전합니다. 탱크 잔량 데이터를 연계해 재고 소진 전에 다음 출하를 진행합니다.

공급 방식 보기
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식각액 (Etchant)

인산·질산·초산 혼산 계열 식각액입니다. 산화막과 금속막의 식각률과 선택비를 고객 막 구조 기준으로 조정하며, 온도별 식각률 편차를 ±1.5% 이내로 관리합니다.

제품 코드
LX-ET 100 / 220 / 340
적용 공정
TFT 배선 형성, 산화막 패터닝
공급 단위
20L 캔 / 1,000L IBC / 벌크 로리
정제 공정에 사용되는 화학 반응기 설비
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박리액 (Stripper)

유기 아민계 감광막 박리액입니다. 하부 배선 손상 없이 잔사를 제거하며, 저온 배합 적용 시 기존 대비 공정 온도를 15℃ 낮춰 운전할 수 있습니다.

제품 코드
LX-ST 410 / 480
사용 온도
45 – 60℃
공급 단위
20L 캔 / 200L 드럼
실험실에서 시료를 분석하는 연구원
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세정액 (Cleaner)

전공정용 세정액입니다. 파티클과 금속 이온을 동시에 제거하며, 금속 불순물은 ppt 단위로 관리해 후속 증착 공정의 오염을 방지합니다.

제품 코드
LX-CL 620 / 660
입자 관리
0.2㎛ 이상 5 EA/mL 이하
공급 단위
1,000L IBC / 벌크 로리
케미컬을 운송하는 탱크로리 차량
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현상액 (Developer)

TMAH 계열 현상액입니다. 표준 농도 2.38 wt%를 기준으로 하며, 농도 자동 보정 장치와 함께 공급해 장시간 가동 시에도 현상 프로파일을 유지합니다.

제품 코드
LX-DV 210 / 238
농도 관리
± 0.01 wt%
공급 단위
벌크 로리 / 라인 직결 배관
공정 데이터를 관리하는 통합 관제실

국내 생산·공급 거점

아산·구미 생산 공장과 청주 분석센터, 이천 물류센터, 울산 출하기지를 포함해 7개 거점을 운영합니다. 정기 납품 기준 주문 후 24시간 이내 전국 출하가 가능합니다.

02생산 공장
07운영 거점
공급 프로세스 보기
서울사무소이천 물류센터아산 제1공장청주 분석센터구미 제2공장울산 출하기지광주 기술지원센터 01020304050607
01서울사무소수도권 · 영업 · 기술영업
02이천 물류센터수도권 · 완제품 보관 · 배송
03아산 제1공장중부 · 합성 · 정제 · 충전
04청주 분석센터중부 · ICP-MS 불순물 분석
05구미 제2공장영남 · 식각액 전용 라인
06울산 출하기지영남 · 탱크로리 출하
07광주 기술지원센터호남 · 고객 라인 기술지원
분석 장비가 설치된 품질 실험실

안전·환경 관리

전 라인에 이중 차단 밸브와 누출 감지 인터록을 적용하고, 설비는 설계 정격의 70% 수준으로 상시 가동합니다. 사용 후 폐액은 자체 회수 설비에서 재생하며, 폐수는 법정 배출 기준의 50% 이하로 관리해 방류합니다.

야간 가동 중인 화학 생산 플랜트

공정 조건을 알려주시면 배합을 제안드립니다

샘플 요청 및 라인 테스트 일정은 기술영업팀이 3영업일 이내 회신합니다.

기술 문의